Electron Irradiation-Induced Degradation of TiN Thin Films … — ҚазҰУ

91ý

Electron Irradiation-Induced Degradation of TiN Thin Films on Quartz and Sapphire Substrates

2024 · Article

Жариялану жылы

2024

CiteScore

7,1

SJR

0,773

SNIP

1,01

Дереккөз: ACS Omega

DOI:

Scopus:

Тұрақты даму мақсаттары (2025)

SDG 7

Білім салалары

General Chemical Engineering General Chemistry